国家/地区 中国(21)
IPC部 C(21)
IPC大类 C30(21)
IPC小类 C30B(21)
IPC C30B029/02(13) C30B025/18(9) C23C016/26(4)
C30B025/02(4) C01B031/04(3) B82Y040/00(2)
C01B031/02(2) C01B032/182(2) C30B025/00(2)
H01L021/20(2)
发明人 CHEN X(3) LI L(3) SUN L(3)
ZHANG Z(3) CHEN Z(2) LI X(2)
LIN L(2) LIU Z(2) PENG H(2)
SUI Y(2) XU X(2) YU G(2)
ZHANG H(2) ZHANG Y(2) ZHAO X(2)
公开年 2015(13) 2016(5) 2017(3)
申请年 2015(21)
专利权人 SHANGHAI INS.(3) UNIV PEKING(3) UNIV SHANDON.(2)