国家/地区 日本(8)
IPC部 C(8)
IPC大类 C30(8)
IPC小类 C30B(8)
IPC C01B031/02(7) C30B029/02(6) B82Y040/00(3)
C30B025/18(3) C30B029/68(3) H01L021/20(3)
B82Y030/00(2) C01B031/04(2) C23C016/26(2)
C30B001/02(2) C30B029/64(2) H01L021/02(2)
H01L021/205(2) H01L029/06(2) H01L033/00(2)
发明人 FAN F Y(2) FAN S(2) GI Y(2)
WEI Y(2)
公开年 2013(5) 2014(2)
申请年 2012(8)
专利权人 HON HAI PREC.(2) HONGFUJIN PR.(2) UNIV TSINGHU.(2)