国家/地区 美国(13)
IPC部 C(13)
IPC大类 C30(13) C01(11) H01(7)
C23(6) B82(4) B01(3)
IPC小类 C30B(13)
IPC C30B029/02(11) C01B031/04(9) C30B025/18(6)
C23C016/26(5) C30B025/02(4) B82Y040/00(3)
C01B031/02(3) C01B032/186(3) H01L021/02(3)
B82Y030/00(2) C01B031/00(2) C01B032/182(2)
C01B032/184(2) C23C016/02(2) C23C016/44(2)
发明人
公开年 2015(7) 2014(5)
申请年 2014(13)
专利权人