国家/地区 美国(17)
IPC部 C(17)
IPC大类 C30(17) C01(13) H01(10)
B82(8) C23(7) B32(4)
B01(3) B05(2)
IPC小类 C30B(17)
IPC C30B029/02(13) C01B031/04(11) B82Y040/00(7)
C01B031/02(6) C30B025/18(6) B82Y030/00(5)
C30B025/02(5) C30B001/02(3) H01L029/786(3)
B32B009/00(2) C01B032/186(2) C23C016/26(2)
C23C016/455(2) C23C016/46(2) C30B001/10(2)
发明人
公开年 2014(17)
申请年 2013(10)  2014(5)  2012(2) 
专利权人