国家/地区 中国(10)
IPC部 G(10) H(6) B(3)
IPC大类 G01(10) H01(5)
IPC小类 G01J(10)
IPC G01J005/20(5) H01L039/12(4) H01L039/24(4)
G01J005/00(3) G01J001/42(2)
发明人 HU H(4)
公开年 2018(9)
申请年 2018(10)
专利权人 JIANGSU XINC.(4)