国家/地区 美国(9) 中国(6) 韩国(4) 世界知识产权组织(4) 台湾(2)
IPC部 C(13)
IPC大类 C23(13)
IPC小类 C23C(13)
IPC H01B001/04(10) C23C016/26(9) H01B001/02(5)
C01B031/04(3) H01B005/14(3) C01B032/186(2)
C01B032/20(2) C23C016/455(2) C23C016/511(2)
H01B007/00(2) H01L021/283(2) H01L029/16(2)
发明人
公开年 2017(8) 2016(3) 2018(2)
申请年 2016(13)
专利权人