国家/地区 美国(6) 日本(5) 世界知识产权组织(4) 欧洲专利局(EPO)(3) 中国(2)
IPC部 B(7)
IPC大类 B82(7) C01(7) H01(7)
B32(4)
IPC小类 B82Y(7)
IPC H01L029/16(7)
发明人
公开年 2010(7)
申请年 2009(5)  2010(2) 
专利权人

KAERKKAEINEN A M, HAQUE S M, COLLI A, PASANEN P M, JOHANNES K L M, UUSITALO M A, LEHTINIEMI R K, KARKKAAINEN A M, HAQUE S, KARKKAINEN L M J, KARKKAINEN L, UUSITALO M, LEHTINIEMI R, KARKKAINEN L M Y, KAERKKAEINEN L M J