国家/地区 日本(5) 美国(5) 欧洲专利局(EPO)(3) 世界知识产权组织(3) 中国(2)
IPC部 B(7)
IPC大类 C01(7) H01(7) B82(5)
B32(4)
IPC小类 C01B(7)
IPC H01L029/786(7)
发明人 HIURA H(2) KANAYAMA T(2) TADA T(2)
公开年 2010(7)
申请年 2009(3)  2010(3) 
专利权人 DOKURITSU GY.(2) NEC CORP(2)

KAERKKAEINEN A M, HAQUE S M, COLLI A, PASANEN P M, JOHANNES K L M, UUSITALO M A, LEHTINIEMI R K, KARKKAAINEN A M, HAQUE S, KARKKAINEN L M J, KARKKAINEN L, UUSITALO M, LEHTINIEMI R, KARKKAINEN L M Y, KAERKKAEINEN L M J