国家/地区 韩国(14) 美国(6) 世界知识产权组织(3) 中国(2)
IPC部 H(12) C(9) B(8)
G(2)
IPC大类 H01(12) C01(8) C23(6)
B82(5) B01(4)
IPC小类 H01L(9) C01B(8) C23C(6)
B01J(4) B82Y(4) H01B(3)
IPC C01B031/02(8) C23C016/26(6) H01L029/78(6)
H01L021/336(5) B01J019/08(3) H01B001/04(3)
B82Y040/00(2) B82Y099/00(2) C23C016/44(2)
C23C016/56(2) H01L021/00(2) H01L021/027(2)
H01L021/268(2) H01L029/786(2)
发明人 CHOI I S(5) LEE K J(5) CHOI S Y(4)
HONG B H(4) CHO B J(3) CHOI I(2)
HWANG J O(2) JEON S(2) KIM S O(2)
LEE D H(2) LEE J(2) LEE K(2)
OH S(2)
公开年 2012(15)
申请年 2011(8)  2012(4)  2010(3) 
专利权人 KOREA ADV INST SCI TECHNOLOGY(15)