国家/地区 | 美国(8) 日本(4) 世界知识产权组织(4) 欧洲专利局(EPO)(3) 台湾(3) 中国(2) 德国(2) 英国(2) 韩国(2) |
IPC部 |
C(9)![]() |
IPC大类 |
C23(9)![]() |
IPC小类 |
C23C(9)
B82Y(7)
H01L(7)
C01B(6) B32B(3) B05D(2) H01B(2) |
IPC |
C23C016/02(9)![]() |
发明人 | |
公开年 |
2013(9)![]() |
申请年 | 2012(4) 2013(4) |
专利权人 |
YOSHII S, NOZAWA K, MATSUKAWA N
GARCES N, WHEELER V D, GASKILL D K, EDDY C R, JERNIGAN G G
TENG P, LIN Y, CHIU P, TENG P Y, LIN Y C, CHIU P W
SULLIVAN M M E, HILTY R D, MARTENS R I, ZHENG M, HEMOND J H B, LIU Z, SULLIVAN MALERVY M E, SULLIVAN MALERVY M, HILTY R, MARTENS R, HEMOND J, SULLIVANMALERVY M E
VLASSIOUK I V, SMIRNOV S N, PETER W H, SABAU A S, DAI S, FULVIO P F, IVANOV I N, LAVRIK N V, DATSKOS P G
BOL A A, CHANDRA B, KASRY A, MAAROUF A, MARTYNA G J, TULEVSKI G S