国家/地区 英国(14)
IPC部 C(10) H(9) B(8)
F(2)
IPC大类 C01(10) H01(9) B82(7)
C23(4) B32(2) C30(2)
IPC小类 C01B(10) H01L(8) B82Y(7)
C23C(4) B32B(2) B82B(2)
C30B(2) H01B(2)
IPC C01B031/04(7) B82Y040/00(6) C01B031/02(6)
B82Y030/00(5) H01L021/02(5) C23C016/26(4)
C23C016/02(3) H01L029/06(3) H01L029/16(3)
H01L029/78(3) H01L029/786(3) B32B009/00(2)
B82B003/00(2) B82Y010/00(2) B82Y099/00(2)
发明人 CHANDRA B(4) TULEVSKI G S(4) AFZALIARDAKANI A(3)
DONG G(2)
公开年 2013(14)
申请年 2012(11)  2013(3) 
专利权人 INT BUSINESS.(5) CHANDRA B(2) RIJKSUNIV LE.(2) TULEVSKI G S(2)