国家/地区 世界知识产权组织(11)
IPC部 C(11) B(9) H(5)
G(4)
IPC大类 C01(11)
IPC小类 C01B(11)
IPC C01B031/04(9) C23C016/26(8) C01B032/186(6)
C01B032/194(4) B32B009/00(3) B32B018/00(3)
C01B031/02(3) C01B032/182(3) C01B032/184(3)
B82Y040/00(2) C23C014/06(2) C23C016/01(2)
C23C016/50(2) C30B029/02(2) H01L021/02(2)
发明人
公开年 2016(11)
申请年 2015(11)
专利权人