国家/地区 韩国(7) 美国(4)
IPC部 H(6) C(4) G(3)
IPC大类 H01(6) C01(4) G03(2)
IPC小类 H01L(5) C01B(4) G03F(2)
IPC C01B032/182(4) H01L029/16(3) H01L051/00(3)
H01L051/56(3) C01B032/184(2) H01L021/324(2)
H01L027/32(2) H01L051/52(2)
发明人 LEE J I(3) CHO N S(2) IK L J(2)
KIM T(2) LEE H(2) MOON J(2)
PARK J(2)
公开年 2018(8)
申请年 2017(6)  2018(2) 
专利权人 ELECTRONICS TELECOM RES INST(8)

KIM J Y, LEE J I, CHEON S H, CHO N S, CHO S, KIM Y H, KIM T, RYU H, AH C S, HWANG C, YEON K J, IK L J, HOON C S, SUNGCHO N, MOK C S, HAE K Y, YOUB K T, SEONG A C, SUN H C