国家/地区 美国(7) 中国(6) 世界知识产权组织(6) 韩国(4) 欧洲专利局(EPO)(3) 日本(3) 台湾(3)
IPC部 C(9)
IPC大类 C01(9)
IPC小类 C01B(9) C23C(9) H01L(5)
B82Y(3) H01M(2)
IPC C01B032/182(9)
发明人
公开年 2021(9)
申请年 2020(4)  2021(4) 
专利权人