| 国家/地区 | 中国(7) 美国(4) 韩国(2) |
| IPC部 |
B(11)
|
| IPC大类 |
C23(11)
C01(6)
B82(4)
H01(4) B01(2) C22(2) |
| IPC小类 |
C23C(11)
C01B(6)
B82Y(4)
B01J(2) H01L(2) H01M(2) |
| IPC |
C23C016/02(11)
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| 发明人 | LI J(2) |
| 公开年 |
2022(11)
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| 申请年 | 2022(6) 2021(4) |
| 专利权人 |
WANG X, HUO Y, LI J, CAO Z, XIAO Z
KIM S, BYUN K, CHO Y, SHIN K, LEE E, LEE C, SONG H, SHIN H, YOON J, LEE S, LIM H, BYUN K E, CHO Y C, SHIN K W, LEE C S, SONG H J, SHIN H J, SU Y J, LEE S Y, LIM H S, LI Z, YOUN J, SHEN X, LI C, LI Y, ZHAO L, JIN S
MA X, QIU J, QIAO Y, ZHANG X, LIU X
SHI P, SHEN Z, LIN Z, ZHONG Y
ZHAO Q, CHEN S, CHEN R, YANG Z, HUANG X
