国家/地区 印度(6)
IPC部 C(6)
IPC大类 C23(6)
IPC小类 C23C(6) H01L(3) B01J(2)
C01B(2) C30B(2)
IPC C01B032/194(2) H01L029/16(2)
发明人
公开年 2022(6)
申请年 2022(3)  2021(2) 
专利权人 INDIAN INST .(2)