国家/地区 中国(18) 美国(10) 世界知识产权组织(10) 韩国(8) 台湾(7) 欧洲专利局(EPO)(5) 日本(5) 俄罗斯(2)
IPC部 C(44) B(20) H(16)
G(4) F(2)
IPC大类 C01(44)
IPC小类 C01B(44)
IPC C23C016/26(20) C01B032/186(15) C01B032/194(14)
B82Y030/00(7) C23C016/44(5) B82Y040/00(4)
C01B032/184(4) C01B032/19(4) C23C016/02(4)
C23C016/54(4) C23C026/00(4) H01L021/285(4)
C01B032/198(3) C09K005/14(3) C23C014/06(3)
发明人 CHEN Q(2) HEE L(2) HYUN L J(2)
IMSUNGWOO(2) JEON Y M(2) LEE E(2)
LEE H S(2) LI Y(2) LIM H H(2)
LIM J(2) LIM J C(2) LIM S W(2)
LIU J(2) MATSUMOTO T(2) PARK J G(2)
公开年 2022(44)
申请年 2021(44)
专利权人 APPLIED MATE.(2) DAEJOO ELECT.(2) TOKYO ELECTR.(2)