国家/地区 英国(13)
IPC部 C(13)
IPC大类 C01(13) C23(4) H01(4)
B05(2) C30(2)
IPC小类 C01B(13)
IPC C01B032/186(5) C01B032/182(4) C23C016/26(4)
C01B032/184(3) C01B032/19(3) H01L021/02(3)
C23C016/02(2) C23C016/40(2) C23C016/455(2)
C30B025/18(2) C30B029/02(2) H01L029/16(2)
发明人 DIXON S(6) GUINEY I(6) GRIFFIN R M(4)
THOMAS S(4) BADCOCK T J(3) KAINTH J(2)
公开年 2022(13)
申请年 2021(6)  2022(6) 
专利权人 PARAGRAF LTD(6)