国家/地区 中国(6)
IPC部 C(9)
IPC大类 C23(9)
IPC小类 C23C(9)
IPC C30B029/02(4) C01B032/186(3) C23C016/02(3)
C23C016/26(3) C30B025/18(3) H01L021/02(3)
C23C014/18(2) C23C014/35(2) C30B029/64(2)
C30B033/02(2)
发明人
公开年 2023(9)
申请年 2021(5)  2022(2)  2023(2) 
专利权人 UNIV PEKING(2)