国家/地区 美国(9)
IPC部 C(9)
IPC大类 C01(9)
IPC小类 C01B(9) B01J(2) H01L(2)
IPC C01B032/194(2)
发明人 LEE C(2)
公开年 2023(9)
申请年 2021(9)
专利权人