国家/地区 中国(6)
IPC部 C(6)
IPC大类 C01(6)
IPC小类 C01B(6) C23C(5) H01L(3)
C23F(2)
IPC C01B032/186(6)
发明人
公开年 2015(3) 2016(3)
申请年 2015(6)
专利权人