国家/地区 中国(8)
IPC部 C(8)
IPC大类 C23(8)
IPC小类 C23C(8) C01B(3) G06F(2)
IPC C23C014/06(8)
发明人
公开年 2016(4) 2015(3)
申请年 2015(8)
专利权人