国家/地区 中国(7)
IPC部 C(7)
IPC大类 C23(7) C30(2) G01(2)
H01(2)
IPC小类 C23C(7) C30B(2) G01N(2)
H01L(2)
IPC C23C014/58(7)
发明人 HU J(3) HU Y(3) LI P(3)
PAN M(3) PENG J(3) QIU W(3)
公开年 2020(7)
申请年 2020(6) 
专利权人 UNIV NAT DEF.(3)