国家/地区 |
中国(13)![]() |
IPC部 |
C(13)![]() |
IPC大类 |
C23(13)![]() |
IPC小类 |
C23F(13)
B82Y(9)
C01B(9)
H01L(7) C23C(5) H01B(5) B32B(4) B05D(3) B44C(3) B01J(2) C03C(2) G03F(2) G06F(2) H01M(2) |
IPC |
C23F001/00(13)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2012(3) 2018(2) |
申请年 | 2009(2) 2011(2) 2012(2) 2022(2) |
专利权人 |
XIA Z, SUN C, WANG Y, HUANG S, DENG B, HAN C, YANG J
YANASE Y, YANASE M, LIANG L
NAITO K, AKASAKA Y, YANG T, YOSHINAGA N, YANG T Y, AKITA M
CHIBA Y, YAMAJI T, YOSHIHIRO C, TATSUYA Y, CHIBA G