国家/地区 中国(11)
IPC部 C(11)
IPC大类 C23(11)
IPC小类 C23C(11) C01B(4) C30B(2)
H01L(2)
IPC C23C016/01(11)
发明人 LI X(3) ZHAO X(3) SU Z(2)
WANG R(2) ZHANG X(2) ZHANG Y(2)
ZHAO Y(2)
公开年 2017(6) 2016(4)
申请年 2016(11)
专利权人 UNIV CHONGQI.(2)