国家/地区 中国(9)
IPC部 C(9)
IPC大类 C30(9) H01(5) C01(3)
IPC小类 C30B(9)
IPC C30B025/00(3) H01L021/02(3) C01B032/194(2)
C30B029/02(2) C30B029/16(2) C30B029/64(2)
发明人 ZHANG S(9)
公开年 2021(3) 2019(2) 2023(2)
申请年 2021(3)  2019(2)  2022(2) 
专利权人 UNIV WUHAN T.(3) CHANGCHUN IN.(2)