国家/地区 中国(12)
IPC部 C(6) H(6)
IPC大类 H01(6) C23(4)
IPC小类 C23C(4) H01L(4) H01M(2)
IPC C23C004/06(2) C23C004/126(2) C23C016/02(2)
发明人 ZHANG H(12)
公开年 2017(12)
申请年 2015(12)
专利权人 SEMICONDUCTO.(4) SEMICONDUCTO.(3) SHANGHAI INS.(3) AVIC BEIJING.(2)
CAS DALIAN C.(2)