国家/地区 德国(10)
IPC部 H(8) B(5) C(5)
G(3)
IPC大类 H01(7) B32(3) C01(3)
H05(3) B82(2) C23(2)
G03(2)
IPC小类 H01L(4) B32B(3) C01B(3)
B82Y(2) C23C(2) G03F(2)
H01B(2) H05B(2)
IPC H01L029/16(3) H01L051/05(3) C01B031/02(2)
C01B031/04(2) G03F007/20(2) H01L021/316(2)
H01L021/336(2) H01L029/06(2) H01L029/66(2)
H01L029/78(2) H01L029/786(2) H01L051/30(2)
发明人
公开年 2011(5) 2012(4)
申请年 2010(10)
专利权人 IBM UK LTD(3) INT BUSINESS.(3)