国家/地区 欧洲专利局(EPO)(8)
IPC部 C(8)
IPC大类 C23(8) C01(7) H01(4)
B32(3) B82(3) C30(2)
G01(2)
IPC小类 C23C(8) C01B(7) B32B(3)
B82Y(3) H01L(3) C23F(2)
C30B(2) G01N(2)
IPC C23C016/26(8)
发明人
公开年 2016(8)
申请年 2015(4)  2014(2)  2016(2) 
专利权人 SNU R DB FO.(2) UNIV SEOUL N.(2)

MOON J, PARK W, PARK S, JO I, HONG B, SAN MOON J, SU C I, BAE P W, BEOM P S, HUI H B, ZHENSHAN W, WONBAE P, SUBEOM P, INSU J, BYUNGHEE H