国家/地区 欧洲专利局(EPO)(8)
IPC部 C(8)
IPC大类 C23(8)
IPC小类 C23C(8) C01B(6) H01L(3)
H01M(2)
IPC C23C016/26(8)
发明人
公开年 2022(5) 2021(3)
申请年 2021(8)
专利权人