国家/地区 欧洲专利局(EPO)(6)
IPC部 B(6)
IPC大类 B32(6)
IPC小类 B32B(6)
IPC B32B009/00(5) C01B031/04(5) B82Y030/00(4)
C23C016/26(4) B32B038/10(3) B82Y040/00(3)
C01B031/02(3) B32B037/12(2) H01B013/00(2)
H01L021/02(2) H01L029/16(2)
发明人
公开年 2013(6)
申请年 2012(4)  2013(2) 
专利权人

SULLIVAN M M E, HILTY R D, MARTENS R I, ZHENG M, HEMOND J H B, LIU Z, SULLIVAN MALERVY M E, SULLIVAN MALERVY M, HILTY R, MARTENS R, HEMOND J, SULLIVANMALERVY M E