国家/地区 |
欧洲专利局(EPO)(6)![]() |
IPC部 |
B(6)![]() |
IPC大类 |
B32(6)![]() |
IPC小类 |
B32B(6)![]() |
IPC |
B32B009/00(5)
C01B031/04(5)
B82Y030/00(4)
C23C016/26(4) B32B038/10(3) B82Y040/00(3) C01B031/02(3) B32B037/12(2) H01B013/00(2) H01L021/02(2) H01L029/16(2) |
发明人 | |
公开年 |
2013(6)![]() |
申请年 | 2012(4) 2013(2) |
专利权人 |
KIMURA N, SHIMIZU K, FUKUDA T
SEACRIST M R, BERRY V, NGUYEN P T
SULLIVAN M M E, HILTY R D, MARTENS R I, ZHENG M, HEMOND J H B, LIU Z, SULLIVAN MALERVY M E, SULLIVAN MALERVY M, HILTY R, MARTENS R, HEMOND J, SULLIVANMALERVY M E
CHOI J, BAIK S, HONG S, KIM W, KIM E, LEE Y, BAIK S H, CHOI J Y, HONG S H, KIM E S, KIM W Y, LEE Y H, BAEK S, LI Y
HAQUE S M, WHITE R, BOWER C, HAQUE S
CHIBA YOSHIHIRO, CHIBA Y, CHIBA G, YOSHIHIRO C