国家/地区 欧洲专利局(EPO)(7)
IPC部 C(7)
IPC大类 H01(7) B82(6) C01(6)
C23(4) B01(3) B05(2)
B22(2) C25(2) C30(2)
IPC小类 H01L(7) B82Y(6) C01B(6)
C23C(4) B01J(3) B05D(2)
B22F(2) C25D(2) C30B(2)
H01M(2)
IPC H01L021/02(7)
发明人 GABEN F(2) ZENASNI A(2)
公开年 2013(2) 2021(2)
申请年 2011(2)  2020(2) 
专利权人 COMMISSARIAT.(4)