国家/地区 日本(20)
IPC部 B(20)
IPC大类 C01(20) B82(11) B01(9)
H01(8) C23(5) B32(3)
C08(3) C25(3) B05(2)
C07(2) G03(2)
IPC小类 C01B(20)
IPC B82Y030/00(11) B82Y040/00(9) C01B032/182(7)
C01B032/186(7) C01B032/184(5) C01B032/15(4)
C01B032/18(4) C01B032/194(4) C01B032/198(4)
B01D069/12(3) B01D071/02(3) C23C016/26(3)
H01L023/532(3) B01D069/00(2) B01D069/10(2)
发明人 KATAGIRI M(3) MIYAZAKI H(3) SAKAI T(3)
CRUZ SILVA RODOLFO(2) ENDO MORINOBU(2) FUKUYO TOMOYUKI(2)
MORELOS GOMEZ AARON(2) OHTOMO M(2) OTOMO M(2)
YAMAZAKI Y(2) YOSHIDA T(2)
公开年 2018(20)
申请年 2017(14)  2018(5) 
专利权人 TOSHIBA KK(4) UNIV SHINSHU(3) FUJITSU LTD(2) SHOWA DENKO .(2)
UNIV KYOTO(2)