国家/地区 韩国(12)
IPC部 H(9) C(8) B(5)
IPC大类 H01(9) C01(8) B01(4)
B82(2) C23(2)
IPC小类 C01B(8) H01B(5) H01L(3)
B01D(2) B01J(2) B82Y(2)
C23C(2)
IPC C01B031/02(7) C01B031/04(7) H01B001/04(3)
B82Y040/00(2) C23C016/26(2) H01B001/06(2)
发明人 JEON S(12)
公开年 2013(3) 2015(3) 2016(2)
申请年 2012(5)  2013(2)  2015(2) 
专利权人 KOREA ADVANCED INST SCI TECHNOLOGY(12)