国家/地区 韩国(7)
IPC部 C(7)
IPC大类 C23(7) C01(5) H01(3)
B01(2)
IPC小类 C23C(7) C01B(5) B01J(2)
H01L(2)
IPC C23C016/44(7)
发明人
公开年 2013(4) 2014(2)
申请年 2012(7)
专利权人