国家/地区 韩国(29)
IPC部 C(29)
IPC大类 C01(29)
IPC小类 C01B(29)
IPC C01B031/02(25) C23C016/26(20) C01B031/04(16)
B82Y040/00(9) B82Y030/00(8) C01B032/186(6)
C23C016/02(5) C23C016/06(5) H01L021/02(4)
H01L021/205(4) H01L029/16(4) B32B009/00(3)
C23C016/44(3) H01L021/31(3) B01J019/12(2)
发明人 GUO S(2) HONG B(2) JUNG M(2)
KIM T(2) LEE J(2) LEE J H(2)
LEE J S(2) MOON J(2) OZKAN C S(2)
OZKAN M(2) PARK S(2) WANG W(2)
公开年 2014(14) 2015(8) 2013(7)
申请年 2013(29)
专利权人 SAMSUNG ELEC.(4) KOREA ADVANC.(3) UNIV SUNGKYU.(3) GUO S(2)
LG ELECTRONI.(2) NIPPON MININ.(2) OZKAN C S(2) OZKAN M(2)
SAMSUNG TECH.(2) UNIV CALIFOR.(2) WANG W(2)