国家/地区 韩国(8)
IPC部 C(8)
IPC大类 C01(8) G03(3)
IPC小类 C01B(8)
IPC C01B032/194(3) G03F001/62(3) C01B032/05(2)
C01B032/184(2) G03F001/22(2)
发明人 KIM K S(8)
公开年 2022(8)
申请年 2021(4)  2022(4) 
专利权人 GRAPHENELAB .(3) FINE SEMITEC.(2) KOREA INST I.(2)

CHOI J H, CHO S J, YU L, KIM C, LEE S Y, SEO K W, KIM K S, MOON S Y, KIMCHUNG, SEO K