国家/地区 中国(6)
IPC部 H(6)
IPC大类 H01(6)
IPC小类 H01L(6)
IPC H01L023/532(4) H01L021/768(3) H01L023/522(3)
H01L021/76(2) H01L023/528(2) H01L029/10(2)
H01L029/78(2)
发明人 LEE M(3) LEE M H(3) LI M(3)
SHUE S(3) SUI X(3) YANG S(3)
公开年 2021(6)
申请年 2019(6)
专利权人 TAIWAN SEMICONDUCTOR MFG CO LTD(6)