国家/地区 台湾(12)
IPC部 B(12)
IPC大类 C01(12)
IPC小类 C01B(12)
IPC C01B031/04(10) C30B029/02(9) B82Y030/00(7)
B82Y040/00(7) C01B031/02(6) C01B032/186(5)
C30B025/18(4) B82B003/00(3) C01B032/182(3)
C23C016/26(3) H01L021/02(3) H01L021/20(3)
C01B032/184(2) C01B032/188(2) C01B032/194(2)
发明人 VEERASAMY V(3) VEERASAMY V S(3) HUANG K(2)
KOU C(2)
公开年 2011(3) 2012(2) 2015(2) 2017(2)
申请年 2012(3)  2009(2)  2013(2)  2015(2) 
专利权人 GUARDIAN GLA.(3) GUARDIAN IND(3) GUARDIAN IND.(3) IND TECHNOLO.(2)
MAX PLANCK G.(2)