国家/地区 台湾(8)
IPC部 C(8)
IPC大类 C01(8)
IPC小类 C01B(8) C30B(8) H01L(5)
C23C(4) B82Y(3)
IPC C30B025/18(8)
发明人 DIXON S(2) GUINEY I(2)
公开年 2014(2) 2022(2)
申请年 2013(3) 
专利权人 PARAGRAF LTD(2)