国家/地区 美国(12)
IPC部 H(10) B(4) C(4)
G(4)
IPC大类 H01(9) C01(3) G01(3)
B82(2)
IPC小类 H01L(6) C01B(3) B82B(2)
G01N(2) H01B(2)
IPC B82B003/00(2) C01B031/02(2) C01B031/04(2)
H01L021/02(2) H01L029/16(2)
发明人 CHOI C G(6) YU Y J(5) CHOI H K(4)
CHOI J S(4) KIM J T(4) CHUNG K H(3)
YOUN D H(3) KIM J S(2) SONG K(2)
YU Y(2) YUN Y J(2)
公开年 2015(8) 2014(3)
申请年 2014(12)
专利权人 ELECTRONICS TELECOM RES INST(12)