国家/地区 美国(12)
IPC部 B(9) C(7) H(5)
A(4) G(3)
IPC大类 B01(6) H01(5) B82(4)
C01(4) A61(3) C02(3)
G03(2)
IPC小类 H01L(5) B01D(4) B82Y(4)
C01B(4) C02F(3) A61L(2)
B01J(2) G03F(2)
IPC C01B031/04(4) B01D067/00(3) B01D071/02(3)
B82Y030/00(3) B82Y040/00(3) C01B032/182(3)
B01D063/10(2) B01D069/02(2) B01D069/12(2)
B01D071/42(2) B01J013/00(2) G03F007/09(2)
G03F007/11(2) H01L021/027(2) H01L029/16(2)
发明人 KIM S(12)
公开年 2016(12)
申请年 2015(6)  2016(4)  2014(2) 
专利权人 SAMSUNG ELEC.(4) KOREA RES IN.(2) UNIV SEOUL N.(2)

SHIN H, KIM S, SEOL M, PARK S, CHO Y, SHIN H J, KIM S W, SEOL M S, PARK S J, CHO Y C, XUE M, ZHAO L