国家/地区 美国(13)
IPC部 C(13)
IPC大类 C23(13) C01(9) H01(7)
B01(3) C30(3) A61(2)
B82(2) C03(2) C25(2)
IPC小类 C23C(13) C01B(9) H01L(6)
B01J(3) C30B(3) B82Y(2)
C03C(2) C25D(2) H01M(2)
IPC C23C016/02(13)
发明人 CHEN C(2) LEE S J(2)
公开年 2016(7) 2017(6)
申请年 2016(13)
专利权人 SAMSUNG ELEC.(2)