国家/地区 美国(8)
IPC部 B(8)
IPC大类 C23(8) C25(5) C01(4)
B82(3) C22(3) B05(2)
B22(2) B29(2) F28(2)
G03(2) H01(2)
IPC小类 C23C(8) C25D(5) C01B(4)
C22C(3) B05D(2) B22F(2)
B29C(2) B82B(2) F28F(2)
G03F(2) H01L(2)
IPC C23C018/16(8)
发明人 JANG B Z(2) LEE H(2) LEE J(2)
LIN Y(2) ZHAMU A(2)
公开年 2019(2)
申请年 2011(2)  2018(2) 
专利权人 NANOTEK INST.(2) SAMSUNG ELEC.(2)

BAE A H, SON S I, NAM J D, LEE J H, HWANG T S, OH J S, LEE H, EAH H B, SANG I S, JAE D N, JOON S O, JUN H L, TAE S H, HWANG T, LEE J, NAN J, PAE A, SUN S, OU J