国家/地区 韩国(9)
IPC部 B(9) C(9) H(3)
IPC大类 B01(9)
IPC小类 B01J(9)
IPC C01B031/04(7) C01B031/02(4) B01J019/12(3)
B82Y030/00(3) B82Y040/00(3) C01B032/194(3)
B01J019/10(2) B01J019/24(2) B01J023/755(2)
B82B003/00(2) C01B032/184(2) C01B032/186(2)
C23C016/26(2) H01L021/02(2) H01L029/16(2)
发明人 KIM H(9)
公开年 2016(2) 2017(2)
申请年 2012(3)  2016(2) 
专利权人 KOREA ADVANC.(3) KOREA ADV IN.(2) KOREA INST E.(2)