国家/地区 美国(18)
IPC部 C(18)
IPC大类 C23(18)
IPC小类 C23C(18) C01B(10) H01L(10)
C25D(6) B82Y(5) H01B(5)
B32B(4) C30B(4) H01M(4)
C23F(3) B05D(2) G03F(2)
H01G(2)
IPC C23C028/00(18)
发明人 CHEN C(2) SON K(2) TU C(2)
公开年 2013(3) 2014(3) 2015(2) 2016(2) 2017(2) 2018(2) 2021(2)
申请年 2013(4)  2016(4)  2014(3)  2020(2) 
专利权人 TAIWAN SEMIC.(2)