国家/地区 美国(19)
IPC部 B(19)
IPC大类 C01(19)
IPC小类 C01B(19)
IPC C23C016/26(13) C01B031/04(10) C01B032/186(7)
B82Y030/00(6) C01B032/194(6) C23C016/56(6)
H01L021/02(6) B82Y040/00(5) C23C016/01(5)
C01B031/02(4) C23C016/02(4) H01L029/16(4)
B01J023/755(3) B32B009/00(3) B32B038/10(3)
发明人 BEDWORTH P V(3) SINTON S W(3) HEISE S E(2)
LIPOMI D J(2) LIU X(2) SWETT J L(2)
ZARETSKI A(2)
公开年 2017(11) 2016(6) 2018(2)
申请年 2016(19)
专利权人 LOCKHEED MAR.(3) UNIV CALIFOR.(2)