国家/地区 美国(7)
IPC部 C(7)
IPC大类 C01(7) C23(7) H01(3)
C03(2)
IPC小类 C01B(7)
IPC C23C016/02(7)
发明人
公开年 2017(7)
申请年 2016(4)  2017(3) 
专利权人