国家/地区 美国(10)
IPC部 C(10)
IPC大类 C30(10) C01(9) H01(5)
C23(4) B82(3) B01(2)
C09(2)
IPC小类 C30B(10)
IPC C01B031/04(6) C30B029/02(6) C01B032/182(5)
C01B032/186(4) C23C016/26(4) B82Y040/00(2)
C01B031/02(2) C01B032/15(2) C01B032/18(2)
C01B032/184(2) C01B032/194(2) C30B025/18(2)
C30B029/14(2) C30B029/60(2) C30B029/64(2)
发明人 MIWA T(2) MOMO J(2) NOMOTO K(2)
公开年 2016(8)
申请年 2015(10)
专利权人 SEMICONDUCTO.(2)