国家/地区 日本(6)
IPC部 H(6) C(4) B(3)
IPC大类 H01(6) C01(4) B82(3)
IPC小类 H01L(6) C01B(4) B82Y(3)
IPC C01B031/02(4) H01L021/28(4) H01L021/336(4)
H01L029/06(4) B82Y030/00(3) B82Y040/00(3)
C01B031/04(3) H01L029/78(3) H01L029/786(3)
C01B032/182(2) H01L021/285(2) H01L021/3205(2)
H01L021/768(2) H01L023/532(2) H01L029/16(2)
发明人 SATO S(3) KAWABATA A(2)
公开年 2014(6)
申请年 2013(4)  2014(2) 
专利权人 NAT INST ADVANCED IND SCI TECHNOLOGY(6)